壓力變送器根據(jù)感壓膜片的不同分為電容式、擴(kuò)散硅式、單晶硅式和陶瓷式，本文主要討論電容式和擴(kuò)散硅式。
一、電容式壓力變送器
原理：電容壓力變送器有一個(gè)可變電容的傳感組件，該傳感器是一個(gè)完全封閉的組件，過(guò)程壓力、差壓通過(guò)隔離膜片和灌充硅油傳到傳感膜片引起位移，傳感膜片和兩電容極板之間的電容差由電子部件轉(zhuǎn)換成4-20ma電流信號(hào)。
簡(jiǎn)單的說(shuō)，壓力引起電容的變化。
其優(yōu)點(diǎn)為：可以做到極低壓力；抗過(guò)載能力強(qiáng)；精度高。缺點(diǎn)為：高壓測(cè)量缺乏優(yōu)勢(shì)；傳感器封裝工藝要求高。
電容式如下圖所示：
二、擴(kuò)散硅式壓力變送器
擴(kuò)散硅式壓力變送器原理：被測(cè)介質(zhì)的壓力直接作用于傳感器的擴(kuò)散硅膜片上，使膜片產(chǎn)生與介質(zhì)壓力成正比的微小位移。在正常狀態(tài)下，膜片#大位移不大于0.025mm，電子線路檢測(cè)這一位移量后，即把這一位移量轉(zhuǎn)化成4-20ma信號(hào)。
簡(jiǎn)單的說(shuō)，壓力引起電阻的變化。
超壓時(shí)膜片直接貼到堅(jiān)固的擴(kuò)散硅上，由于膜片和基體的間隙只有0.1mm，因此過(guò)壓時(shí)膜片的#大位移也只有0.1mm，所以從結(jié)構(gòu)上保證了膜片不會(huì)產(chǎn)生過(guò)大的變形，該傳感器具有很好的穩(wěn)定性和高精度。
其優(yōu)點(diǎn)是：穩(wěn)定性高，每年優(yōu)于0.1%FS；溫度偏移小，由于取消了測(cè)量元件中的液體，因此傳感器能夠獲得很高的精度；價(jià)格便宜。缺點(diǎn)是：低于0℃或高于85℃難以正常使用；不能承受動(dòng)態(tài)壓力；膜片易損壞；不適用20MPa以上的壓力。
擴(kuò)散硅式如下圖所示：
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